Сухой пленочный фоторезист
FIRST (Китай)
Универсальный
фоторезист для УФ и прямого экспонирования,
водно-щелочное проявление, кислое и
щелочное травление внутренних и наружных слоев, платы высокой плотности, гальваническое
покрытие, тентинг
|
Серия FT-3600
|
FT-3630A
|
FT-3638А
|
FT-3650А
|
|
Толщина, мкм
|
30
|
38
|
50
|
|
Кислое травление
|
●
|
●
|
●
|
|
Щелочное травление
|
●
|
●
|
●
|
|
Покрытие
|
●
|
●
|
●
|
|
Тентинг
|
●
|
●
|
●
|
|
Особенности
|
Высокое разрешение,
высокая адгезия, быстрое удаление, отсутствие следов во время проявления.
Отличная стойкость
к гальваническому покрытию (золото, медь, олово, никель) и тентированию
|
Характеристики
|
серия FT-3600
|
FT-3630A
|
FT-3638А
|
FT-3650А
|
|
Клин Штоуффера
|
SST41
|
|
Энергия
экспонирования (SST=20/41SST) (мДж/см2)
|
25
|
28
|
30
|
|
Рекомендуемая ступень экспонирования
|
20
|
23
|
23
|
|
Разрешение
(SST=20/41SST)
(мкм)
|
35
|
35
|
45
|
|
Адгезия
|
40
|
40
|
45
|
|
Проявление (конц.р-ра
Na2CO3) (макс.%)
|
0,8-1,2
|
0,8-1,2
|
0,8-1,2
|
|
Температура
проявления (0С)
|
30±2
|
30±2
|
30±2
|
|
Время проявления
(сек)
|
20
|
20
|
27
|
|
Снятие (сек)
(3% NaOH, 500С)
|
32
|
58
|
65
|
|
Размер частиц (мм)
|
<30
|
<30
|
<30
|
|
Тентинг (диаметр, мм)
|
5
|
6
|
7
|
ПРЯМОЕ ЭКСПОНИРОВАНИЕ
водно-щелочное проявление, кислое травление внутренних и
наружных слоев, гальваническое покрытие, тентинг
|
серия FD-1700 и FD-2700
|
FD-1730В
|
FD-1740
|
FD-2740
|
FD-2750
|
|
Толщина, мкм
|
30
|
38
|
38
|
48
|
|
Кислое травление
|
●
|
●
|
●
|
●
|
|
Щелочное травление
|
●
|
●
|
●
|
●
|
|
Покрытие
|
●
|
●
|
●
|
●
|
|
Тентинг
|
●
|
●
|
●
|
●
|
|
Особенности
|
Высокая
чувствительность, адгезия и разрешение, отличная контрастность до и после
экспонирования, быстрое снятие,отличное
тентирование
|
Характеристики
|
|
FD-1730В
|
FD-1740
|
FD-2740
|
FD-2750
|
|
Клин Штоуффера
|
SST41
|
|
Энергия
экспонирования (мДж/см2)
|
11
|
12
|
14
|
15
|
|
Рекомендуемая ступень экспонирования
|
17
|
17
|
20
|
20
|
|
Разрешение,
проводник/зазор (мкм)
|
25
|
35
|
35
|
40
|
|
Адгезия (мкм)
|
≤25
|
≤30
|
≤30
|
≤40
|
|
Время проявления
(сек)
|
15
|
19
|
19
|
24
|
|
Снятие (сек)
(3% NaOH, 500С)
|
28
|
51
|
44
|
68
|
|
Размер частиц (мм)
|
15-30
|
15-30
|
|
|
|
Тентинг (диаметр 7 мм)
|
|
|
ок
|
ок
|
|