Установка автоматического оптического контроля фотошаблонов
TSL-FVT-DX5.0/ DX5.5( Тайвань)
Установка
предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии
фотошаблонов.
Тип заготовки: Пленочный или стеклянный фотошаблон.
Разрешение: 1,5-5.5 мкм
Минимальный
проводник/зазор 15 мкм
Время
тестирования (500х400 мм): 45 секунд (разрешение 5,0 мкм)
Метод
проверки: DRC проверка (технологический контроль) - TSL-FVT-DX5.0
Метод
проверки: DRC проверка + проверка по CAM/CAD файлам - TSL-FVT-DX5.5
Определяемые
дефекты: Обрывы, замыкания, выступы,
риски , царапины, точечный протрав, не проявленные участки, нарушение ширины
проводников и зазоров и т.д.
Локальные измерения. Установка обеспечивает точное измерение диаметров
контактных площадок , ширины линий, зазоров .
Глобальные измерения. Измерение расстояний между элементами топологии фотошаблона

Максимальный размер заготовки: 850 мм х 630 мм
Область
измерений: 700 мм х 600 мм
Электропитание:
220 В, 50 Гц
Потребляемая
мощность: 1,0 кВт
Габаритные
размеры (ШхГхВ): 1550х1350х1600 мм
Вес:
550 кг
В
состав поставки входит ПК с двумя мониторами.
Отличительные
особенности:
Высокая
скорость тестирования .
Отображение
дефектов на дисплее в режиме реального времени.
Gerber файл сканированного фотошаблона.
Опции:
лазерный указатель, маркировщик.