Установка автоматического оптического контроля фотошаблонов

TSL-FVT-DX5.0/ DX5.5( Тайвань)

Установка предназначена для автоматического обнаружения  дефектов топологии фотошаблонов.

Тип заготовки: Пленочный или стеклянный фотошаблон.

Разрешение: 1,5-5.5  мкм

Минимальный проводник/зазор 15 мкм       

Время тестирования  (500х400 мм): 45 секунд (разрешение 5,0  мкм)

Метод проверки: DRC проверка (технологический контроль) - TSL-FVT-DX5.0

Метод проверки: DRC проверка + проверка  по CAM/CAD файлам - TSL-FVT-DX5.5

Определяемые дефекты: Обрывы, замыкания, выступы, риски , царапины, точечный протрав, не проявленные участки, нарушение ширины проводников и зазоров и т.д.

Локальные измерения. Установка обеспечивает точное измерение  диаметров контактных площадок , ширины линий, зазоров .

Глобальные измерения. Измерение расстояний  между элементами топологии фотошаблона

Максимальный размер заготовки: 850 мм х 630 мм

Область измерений: 700 мм х 600 мм

Электропитание: 220 В, 50 Гц

Потребляемая мощность: 1,0 кВт

Габаритные размеры (ШхГхВ): 1550х1350х1600 мм

Вес: 550 кг

В состав поставки входит ПК  с двумя мониторами.

Отличительные особенности:

Высокая скорость тестирования .

Отображение дефектов на дисплее в режиме реального времени.

Gerber файл сканированного  фотошаблона.

Опции:  лазерный указатель, маркировщик.