Установка автоматического оптического контроля фотошаблонов
TSL-FVT-DX5.0/ DX5.5( Тайвань)
Установка предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов.
Тип заготовки: Пленочный или стеклянный фотошаблон.
Разрешение: 1,5-5.5 мкм
Минимальный проводник/зазор 15 мкм
Время тестирования (500х400 мм): 45 секунд (разрешение 5,0 мкм)
Метод проверки: DRC проверка (технологический контроль) - TSL-FVT-DX5.0
Метод проверки: DRC проверка + проверка по CAM/CAD файлам - TSL-FVT-DX5.5
Определяемые дефекты: Обрывы, замыкания, выступы, риски , царапины, точечный протрав, не проявленные участки, нарушение ширины проводников и зазоров и т.д.
Локальные измерения. Установка обеспечивает точное измерение диаметров контактных площадок , ширины линий, зазоров .
Глобальные измерения. Измерение расстояний между элементами топологии фотошаблона
Максимальный размер заготовки: 850 мм х 630 мм
Область измерений: 700 мм х 600 мм
Электропитание: 220 В, 50 Гц
Потребляемая мощность: 1,0 кВт
Габаритные размеры (ШхГхВ): 1550х1350х1600 мм
Вес: 550 кг
В состав поставки входит ПК с двумя мониторами.
Отличительные особенности:
Высокая скорость тестирования .
Отображение дефектов на дисплее в режиме реального времени.
Gerber файл сканированного фотошаблона.
Опции: лазерный указатель, маркировщик.